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TMAH2.38稀釋系統供應柜


Category: 化學品設備

產品用途:適用于濕化學品介質稀釋系統(TMAH2.38%),將原液25%原液稀釋混配至2.38%一號標準液;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統解決方案;集成PLC和模塊化控制系統;原液Supply單元+Mix混合單元+稀釋Supply單元。

  1.1 產品概述

  產品用途:適用于濕化學品介質稀釋系統(TMAH2.38%),將原液25%原液稀釋混配至2.38%一號標準液;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統解決方案;集成PLC和模塊化控制系統;原液Supply單元+Mix混合單元+稀釋Supply單元。

  產品功能和原理:全自動供酸;可根據客戶需求提供額外配置;原液25%TMAH;左右桶自動切換;原液供應泵體一用一備;根據桶內液位高度實現自動切換供液操作;原液取樣,稀釋后取樣;管道壓力檢測稀釋罐一用一備,泵體兩用一備;稀釋后Preilter過濾供應,過濾精度0.05μm;簡潔系統,并支持多種語言;觸屏可顯示各顆閥的工作狀態及管路供液狀態。

  優點:系統各部分運行狀態的預警及警報;多重安全性的自檢與確認;自動切斷供液;供液壓力過高;緊急切斷;支持多種信號輸入;裝備緊急按鈕

  產品應用:產品廣泛應用于半導體芯片制造,平板顯示行業,LED 行業,太陽能電池,電子元器件制造等行業,主要用于稀釋輸送有毒,腐蝕性強的濕化學品。

關鍵詞:

介質稀釋

模塊化

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