產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品系列
全自動氣體輸送柜(以下簡稱全自動氣柜，英文簡稱 GC)是全封閉式的工藝氣體氣源端的輸送設(shè)備，用來將鋼瓶中的高純特氣輸送到后端的氣體分配單元，為全自動控制，并且能實現(xiàn)不間斷供氣。
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產(chǎn)品用途：全自動化學(xué)品供酸柜(以下簡稱全自動化學(xué)品柜，英文簡稱(CDM)是全封閉式的化學(xué)品輸送設(shè)備，適用于濕化學(xué)品介質(zhì)輸送，用來容器中的化學(xué)品輸送到后端的分配單元，為全自動控制，并且能實現(xiàn)不間斷供應(yīng)。
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產(chǎn)品用途：適用于濕化學(xué)品介質(zhì)稀釋系統(tǒng)(TMAH2.38%)，將原液25%原液稀釋混配至2.38%一號標(biāo)準(zhǔn)液；PP+PVC外殼+PFA管路；完整的系統(tǒng)解決方案；集成PLC和模塊化控制系統(tǒng)；原液Supply單元+Mix混合單元+稀釋Supply單元。
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產(chǎn)品用途：適用于濕化學(xué)品介質(zhì)機(jī)械研磨CMP制程工藝供應(yīng)設(shè)備；PP+PVC外殼+PFA管路；完整的系統(tǒng)解決方案;集成PLC和模塊化控制系統(tǒng)；原液Supply單元+Mix混合單元；可根據(jù)用戶要求特殊定制；攪拌前后取樣
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產(chǎn)品用途：適用于酸堿類供液系統(tǒng)和有機(jī)試劑類供液系統(tǒng)；2分支(Sticks)~8分支工藝管線，根據(jù)用戶要求特殊定制；依操作方式可分為三種控制方式：自動/手動；PP+PVC外殼+PFA管路；配備漏液報警Sensor、負(fù)壓表等；主管帶擴(kuò)充閥/分支擴(kuò)充閥，視需求可供未來擴(kuò)充；VMB電控部分可與廠務(wù)中控系統(tǒng)銜接。
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產(chǎn)品功能和原理：根據(jù)所需處理的介質(zhì)性質(zhì)的不同，選取不同的干式藥劑，利用藥劑與需處理的介質(zhì)之間的酸堿中和反應(yīng)、復(fù)分解反應(yīng)等基本原理，生成穩(wěn)定的無毒無害的化合物或復(fù)合物，這些化合物或復(fù)合物可再次利用于道路維修、固廢填埋，不產(chǎn)生二次污染。
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