閥門盤（VMP）

Category: 特氣設(shè)備

產(chǎn)品用途：閥門分配盤(以下簡稱閥門盤，英文簡稱 VMP)是敞開式的工藝氣體分配單元，用來二次調(diào)節(jié)工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機(jī)臺(tái)。

　　4.1 產(chǎn)品概述

　　產(chǎn)品用途：閥門分配盤(以下簡稱閥門盤，英文簡稱 VMP)是敞開式的工藝氣體分配單元，用來二次調(diào)節(jié)工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機(jī)臺(tái)。

　　產(chǎn)品功能和原理：閥門盤結(jié)構(gòu)簡單，僅由工藝閥門管件和不銹鋼底板組成。工藝閥門盤面可以調(diào)節(jié)氣體的壓力和控制各支路氣體的通斷，一般情況下，全部為手動(dòng)操作。

　　產(chǎn)品應(yīng)用：產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造，平板顯示行業(yè)，LED 行業(yè)，太陽能電池，電子元器件制造等行業(yè)，主要用于輸送惰性高純氣體。

　　4.2 產(chǎn)品細(xì)分系列與配置

系列名稱	主要配置	適用工況	通用配置	通用參數(shù)
手動(dòng)支路帶過濾系列	配置支路過濾器	適用于惰性氣體，前后端系統(tǒng)無過濾器的工況	全手動(dòng)操作；配置主路擴(kuò)展閥；配置支路調(diào)壓閥。	設(shè)備尺寸：視詳細(xì)型號(hào)確定; 閥門管件規(guī)格：尺寸規(guī)格視詳細(xì)型號(hào)確定， EP。
手動(dòng)支路無過濾系列	無支路過濾器	適用于惰性氣體，前后端系統(tǒng)有過濾器的工況	全手動(dòng)操作；配置主路擴(kuò)展閥；配置支路調(diào)壓閥。