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水洗式尾氣處理設備


Category: 尾氣處理設備

產品用途:水洗式尾氣處理設備(Wet SCRUBBER)是一個專門處理現場各種制程廢氣的系統,在水溶解的過程中,將制程所產生的廢氣,反應成溶解于水中的物質,再經由另一道程序而排放至廠務處理系統,所處理的廢氣,包含大部份半導體廠所使用的特殊氣體,維修保養的頻率少且時間短,不會影響生產的時程。

  2.1 產品概述

  產品用途:水洗式尾氣處理設備(Wet SCRUBBER)是一個專門處理現場各種制程廢氣的系統,在水溶解的過程中,將制程所產生的廢氣,反應成溶解于水中的物質,再經由另一道程序而排放至廠務處理系統,所處理的廢氣,包含大部份半導體廠所使用的特殊氣體,維修保養的頻率少且時間短,不會影響生產的時程。

  產品功能和原理:在水溶解的過程中,將制程所產生的廢氣,反應成溶解于水中的物質,再經由另一道程序而排放至廠務處理系統,產生的副產品如顆粒等通過收集系統收集。

  優點:處理的氣體包括:NH3、HCL、BCl3、Cl2 等。 整機設計美觀,安全標準,擁有處理量大、效率高、及長時間運轉,操作容易上手,保養簡單快速、零部件經久耐用

  產品應用:MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備,應用于半導體行業、太陽能電池行業制程中產生的廢氣。

關鍵詞:

制程廢氣

尾氣處理設備

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