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全自動氣體輸送柜(GC)

全自動氣體輸送柜(以下簡稱全自動氣柜,英文簡稱 GC)是全封閉式的工藝氣體氣源端的輸送設備,用來將鋼瓶中的高純特氣輸送到后端的氣體分配單元,為全自動控制,并且能實現不間斷供氣。
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氣體輸送架(GR)

氣體輸送架(以下簡稱氣架,英文簡稱GR)是敞開式的工藝氣體氣源端的輸送設備,用來將鋼瓶中的高純惰性氣體輸送到后端的氣體分配單元,根據需要有半自動控制和手動操作兩種,半自動控制系列 可以實現不間斷供氣。
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閥門箱(VMB)

產品用途:閥門分配箱(以下簡稱閥門箱,英文簡稱 VMB)是全封閉式的工藝氣體分配單元,用來二次調節工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機臺,根據需要有半自動控制和手動操作兩種操作方式。
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閥門盤(VMP)

產品用途:閥門分配盤(以下簡稱閥門盤,英文簡稱 VMP)是敞開式的工藝氣體分配單元,用來二次調節工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機臺。
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