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全自動氣體輸送柜（GC）

全自動氣體輸送柜(以下簡稱全自動氣柜，英文簡稱 GC)是全封閉式的工藝氣體氣源端的輸送設備，用來將鋼瓶中的高純特氣輸送到后端的氣體分配單元，為全自動控制，并且能實現不間斷供氣。
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氣體輸送架（GR）

氣體輸送架(以下簡稱氣架，英文簡稱GR)是敞開式的工藝氣體氣源端的輸送設備，用來將鋼瓶中的高純惰性氣體輸送到后端的氣體分配單元，根據需要有半自動控制和手動操作兩種，半自動控制系列 可以實現不間斷供氣。
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閥門箱（VMB）

產品用途：閥門分配箱(以下簡稱閥門箱，英文簡稱 VMB)是全封閉式的工藝氣體分配單元，用來二次調節工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機臺，根據需要有半自動控制和手動操作兩種操作方式。
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閥門盤（VMP）

產品用途：閥門分配盤(以下簡稱閥門盤，英文簡稱 VMP)是敞開式的工藝氣體分配單元，用來二次調節工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機臺。
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