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圖片名稱

產(chǎn)品中心



200L/100L酸堿化學(xué)品輸送柜(CDM)

產(chǎn)品用途:全自動化學(xué)品供酸柜(以下簡稱全自動化學(xué)品柜,英文簡稱(CDM)是全封閉式的化學(xué)品輸送設(shè)備,適用于濕化學(xué)品介質(zhì)輸送,用來容器中的化學(xué)品輸送到后端的分配單元,為全自動控制,并且能實現(xiàn)不間斷供應(yīng)。
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TMAH2.38稀釋系統(tǒng)供應(yīng)柜

產(chǎn)品用途:適用于濕化學(xué)品介質(zhì)稀釋系統(tǒng)(TMAH2.38%),將原液25%原液稀釋混配至2.38%一號標(biāo)準(zhǔn)液;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統(tǒng)解決方案;集成PLC和模塊化控制系統(tǒng);原液Supply單元+Mix混合單元+稀釋Supply單元。
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Slurry混酸系統(tǒng)供應(yīng)柜

產(chǎn)品用途:適用于濕化學(xué)品介質(zhì)機械研磨CMP制程工藝供應(yīng)設(shè)備;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統(tǒng)解決方案;集成PLC和模塊化控制系統(tǒng);原液Supply單元+Mix混合單元;可根據(jù)用戶要求特殊定制;攪拌前后取樣
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CCB

產(chǎn)品用途:適用于較大化學(xué)品輸送系統(tǒng)供應(yīng)罐的充裝;2分支(Sticks)~6分支工藝管線;用于連接槽車與化學(xué)品輸送系統(tǒng)連接;充裝方式氮壓;PP+PVC外殼+PFA管路;配備漏液報警Sensor、負(fù)壓表等;根據(jù)用戶要求特殊定制。
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酸堿/有機VMB

產(chǎn)品用途:適用于酸堿類供液系統(tǒng)和有機試劑類供液系統(tǒng);2分支(Sticks)~8分支工藝管線,根據(jù)用戶要求特殊定制;依操作方式可分為三種控制方式:自動/手動;PP+PVC外殼+PFA管路;配備漏液報警Sensor、負(fù)壓表等;主管帶擴充閥/分支擴充閥,視需求可供未來擴充;VMB電控部分可與廠務(wù)中控系統(tǒng)銜接。
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