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圖片名稱

特氣系統

Products

全自動氣體輸送柜(GC)

全自動氣體輸送柜(以下簡稱全自動氣柜,英文簡稱 GC)是全封閉式的工藝氣體氣源端的輸送設備,用來將鋼瓶中的高純特氣輸送到后端的氣體分配單元,為全自動控制,并且能實現不間斷供氣。

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氣體輸送架(GR)

氣體輸送架(以下簡稱氣架,英文簡稱GR)是敞開式的工藝氣體氣源端的輸送設備,用來將鋼瓶中的高純惰性氣體輸送到后端的氣體分配單元,根據需要有半自動控制和手動操作兩種,半自動控制系列 可以實現不間斷供氣。

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閥門箱(VMB)

產品用途:閥門分配箱(以下簡稱閥門箱,英文簡稱 VMB)是全封閉式的工藝氣體分配單元,用來二次調節工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機臺,根據需要有半自動控制和手動操作兩種操作方式。

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閥門盤(VMP)

產品用途:閥門分配盤(以下簡稱閥門盤,英文簡稱 VMP)是敞開式的工藝氣體分配單元,用來二次調節工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機臺。

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200L/100L酸堿化學品輸送柜(CDM)

產品用途:全自動化學品供酸柜(以下簡稱全自動化學品柜,英文簡稱(CDM)是全封閉式的化學品輸送設備,適用于濕化學品介質輸送,用來容器中的化學品輸送到后端的分配單元,為全自動控制,并且能實現不間斷供應。

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TMAH2.38稀釋系統供應柜

產品用途:適用于濕化學品介質稀釋系統(TMAH2.38%),將原液25%原液稀釋混配至2.38%一號標準液;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統解決方案;集成PLC和模塊化控制系統;原液Supply單元+Mix混合單元+稀釋Supply單元。

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Slurry混酸系統供應柜

產品用途:適用于濕化學品介質機械研磨CMP制程工藝供應設備;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統解決方案;集成PLC和模塊化控制系統;原液Supply單元+Mix混合單元;可根據用戶要求特殊定制;攪拌前后取樣

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CCB

產品用途:適用于較大化學品輸送系統供應罐的充裝;2分支(Sticks)~6分支工藝管線;用于連接槽車與化學品輸送系統連接;充裝方式氮壓;PP+PVC外殼+PFA管路;配備漏液報警Sensor、負壓表等;根據用戶要求特殊定制。

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酸堿/有機VMB

產品用途:適用于酸堿類供液系統和有機試劑類供液系統;2分支(Sticks)~8分支工藝管線,根據用戶要求特殊定制;依操作方式可分為三種控制方式:自動/手動;PP+PVC外殼+PFA管路;配備漏液報警Sensor、負壓表等;主管帶擴充閥/分支擴充閥,視需求可供未來擴充;VMB電控部分可與廠務中控系統銜接。

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吸附式尾氣處理設備

產品功能和原理:根據所需處理的介質性質的不同,選取不同的干式藥劑,利用藥劑與需處理的介質之間的酸堿中和反應、復分解反應等基本原理,生成穩定的無毒無害的化合物或復合物,這些化合物或復合物可再次利用于道路維修、固廢填埋,不產生二次污染。

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