特氣系統
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全自動氣體輸送柜(以下簡稱全自動氣柜，英文簡稱 GC)是全封閉式的工藝氣體氣源端的輸送設備，用來將鋼瓶中的高純特氣輸送到后端的氣體分配單元，為全自動控制，并且能實現不間斷供氣。
隱藏域元素占位
氣體輸送架(以下簡稱氣架，英文簡稱GR)是敞開式的工藝氣體氣源端的輸送設備，用來將鋼瓶中的高純惰性氣體輸送到后端的氣體分配單元，根據需要有半自動控制和手動操作兩種，半自動控制系列 可以實現不間斷供氣。
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產品用途：閥門分配箱(以下簡稱閥門箱，英文簡稱 VMB)是全封閉式的工藝氣體分配單元，用來二次調節工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機臺，根據需要有半自動控制和手動操作兩種操作方式。
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產品用途：全自動化學品供酸柜(以下簡稱全自動化學品柜，英文簡稱(CDM)是全封閉式的化學品輸送設備，適用于濕化學品介質輸送，用來容器中的化學品輸送到后端的分配單元，為全自動控制，并且能實現不間斷供應。
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產品用途：適用于濕化學品介質稀釋系統(TMAH2.38%)，將原液25%原液稀釋混配至2.38%一號標準液；PP+PVC外殼+PFA管路；完整的系統解決方案；集成PLC和模塊化控制系統；原液Supply單元+Mix混合單元+稀釋Supply單元。
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產品用途：適用于濕化學品介質機械研磨CMP制程工藝供應設備；PP+PVC外殼+PFA管路；完整的系統解決方案;集成PLC和模塊化控制系統；原液Supply單元+Mix混合單元；可根據用戶要求特殊定制；攪拌前后取樣
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產品用途：適用于較大化學品輸送系統供應罐的充裝；2分支(Sticks)~6分支工藝管線；用于連接槽車與化學品輸送系統連接；充裝方式氮壓；PP+PVC外殼+PFA管路；配備漏液報警Sensor、負壓表等；根據用戶要求特殊定制。
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產品用途：適用于酸堿類供液系統和有機試劑類供液系統；2分支(Sticks)~8分支工藝管線，根據用戶要求特殊定制；依操作方式可分為三種控制方式：自動/手動；PP+PVC外殼+PFA管路；配備漏液報警Sensor、負壓表等；主管帶擴充閥/分支擴充閥，視需求可供未來擴充；VMB電控部分可與廠務中控系統銜接。
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產品功能和原理：根據所需處理的介質性質的不同，選取不同的干式藥劑，利用藥劑與需處理的介質之間的酸堿中和反應、復分解反應等基本原理，生成穩定的無毒無害的化合物或復合物，這些化合物或復合物可再次利用于道路維修、固廢填埋，不產生二次污染。
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